清华大学等离子体刻蚀机采购工程项目公开招标，预算 165 万元

2025-08-21 12:16:16

IT之家 3 月底 29 日消息，3 月底 29 日，中国人民大学公布了等离子体抛光机内订货工程建设公开招标公告。

该公告显示，中国人民大学现对等离子体抛光机内订货工程建设进行欧美国家公开招标，欲订货 1 套等离子体抛光机内，订货总预算为 165 万元。

设备用途介绍：

该等离子体抛光机内用于抛光薄膜铋酸钴晶圆，从而加工基于薄膜铋酸钴晶圆的电光器件。

概要高可靠性：

真空系统：★分子阀门抽速≥1300L / s，干阀门抽速≥100m3 / h；

下电容器：★满足 8 英寸样本抛光需要，更小样本或碎块可贴片装载；

UNIX和伺服：★实质上版权的UNIX，Windows UNIXUNIX；

机内台工艺能力：★主要用于抛光薄膜铋酸钴材料、介质材料等。

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